稀缺 呦交 UU 暗呦XXX,三区精品中文,福利导航电影,国产三级性爱网站

銷售咨詢熱線:
13912479193
產(chǎn)品目錄
技術(shù)文章
首頁 > 技術(shù)中心 > 等離子刻蝕冷卻Chiller原理優(yōu)勢與應(yīng)用

等離子刻蝕冷卻Chiller原理優(yōu)勢與應(yīng)用

 更新時(shí)間:2025-03-17 點(diǎn)擊量:536

在半導(dǎo)體制造工藝中,等離子刻蝕冷卻Chiller作為關(guān)鍵溫控設(shè)備,通過制冷技術(shù)和智能控制系統(tǒng),為工藝穩(wěn)定性提供保障。

一、等離子刻蝕工藝的溫控挑戰(zhàn)

等離子刻蝕過程中,反應(yīng)腔室內(nèi)的高頻電場將氣體電離為等離子體,這些高能粒子轟擊硅片表面完成刻蝕。然而,等離子體釋放的巨大熱量會使腔室溫度急劇上升。若溫度失控,可能引發(fā)以下問題。

1、刻蝕速率波動:溫度變化影響化學(xué)反應(yīng)速率,導(dǎo)致刻蝕深淺不一致;

2、材料熱應(yīng)力損傷:局部過熱可能使硅片或掩膜層產(chǎn)生裂紋;

3、副產(chǎn)物沉積:高溫加速反應(yīng)副產(chǎn)物在腔室壁的附著,降低工藝穩(wěn)定性。

因此,等離子刻蝕冷卻Chiller需在短時(shí)間內(nèi)將腔室溫度控制在很小的精度內(nèi),同時(shí)適應(yīng)-100℃150℃的寬溫域需求。

638767000158382024877.jpg


二、Chiller的核心工作原理

等離子刻蝕冷卻Chiller通過閉環(huán)制冷系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)溫控,其核心流程包括,

1、制冷劑循環(huán)

壓縮機(jī)將氣態(tài)制冷劑壓縮為高溫高壓氣體;氣體經(jīng)風(fēng)冷或水冷式冷凝器液化,釋放熱量;電子膨脹閥調(diào)節(jié)液態(tài)制冷劑壓力,使其低溫蒸發(fā);制冷劑在蒸發(fā)器中吸收反應(yīng)腔室的熱量,完成降溫。

2、全密閉循環(huán)設(shè)計(jì)

系統(tǒng)采用不銹鋼SUS304管路和E密封材料,杜絕水分和雜質(zhì)侵入,確保導(dǎo)熱介質(zhì)純凈度。

3、雙變頻技術(shù)

循環(huán)泵和壓縮機(jī)均采用變頻調(diào)節(jié),根據(jù)實(shí)時(shí)負(fù)載自動調(diào)整功率,在保證制冷效率。

三、技術(shù)特點(diǎn)與創(chuàng)新優(yōu)勢

1、精度控溫

采用PID算法和PLC控制器,實(shí)現(xiàn)控溫精度;支持多段溫度曲線編程,適應(yīng)刻蝕工藝的復(fù)雜溫控需求(如快速升降溫)。

2、寬溫域與制冷

低溫復(fù)疊制冷系列支持寬溫域,滿足深紫外刻蝕的低溫需求;直冷型Chiller通過制冷劑直接蒸發(fā)換熱,效率較傳統(tǒng)液冷提升30%以上。

等離子刻蝕冷卻Chiller憑借其溫控、制冷和可靠的特性,已成為半導(dǎo)體制造鏈條中配套使用的設(shè)備。隨著芯片工藝對溫控精度的要求越來越高,等離子刻蝕冷卻Chiller也將持繼續(xù)前進(jìn)。


自慰喷水av| 久久精品高清一区二区三区| 中国破苞一二三区在线| 精品久久久久久中文字幕大豆网| 国产超碰97精品免费| 中文字幕77页| 日韩在线观看视频高清| 成人毛片18男毛片免费看| 国产bt视频| 国产区精品尤物柚木在线| 喷水精品久久久| 最新四虎在线观看| AV无码一区二区三区| 国产老熟女导航| 夜夜久久 17| 香蕉尹人综合| 国产日韩综合无码| 色天使色偷偷AV一区二区三区| 久久夜夜狠狠| 中文字幕熟妇| 分享久久久精品天堂无码中文字幕心得 | 亚州国产网址| 国产乱码字幕精品高清AV| 国产亚洲精品第一页| 丁香五月婷婷激情欧美| 久久99精品国产只有精品| 中文字幕制服丝袜无码一区| 色播五月激情综合色| 欧美呦呦导航| 中文字幕久久少妇| 亚洲AV永久无码精品二区| 久久久精久久精品| AV中文字幕10| 欧美永久免费精品| 欧美视频一区二区专区| 日韩人妻无码精品综合网| 久久精品国产免费一男女| 欧美日韩高清黄免费| 91亚洲三级| 久久国产亚洲高清观看5388 | 精彩久久|