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半導體冷水機丨刻蝕/鍍膜工藝專用冷卻方案

簡要描述:【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設備廠家,公司主要生產高低溫沖擊氣流儀(熱流儀)、chiller、超低溫制冷機、高低溫測試機機、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片、航空航天、天文探測、電池包氫能源等領域的可靠性測試提供整套溫度環(huán)境解決方案。半導體冷水機丨刻蝕/鍍膜工藝專用冷卻方案

  • 產品型號:FLTZ-203W-2T
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-03-20
  • 訪  問  量:248
詳情介紹
品牌冠亞恒溫冷卻方式水冷式
價格區(qū)間10萬-50萬產地類別國產
儀器種類一體式應用領域化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣

半導體冷水機丨刻蝕/鍍膜工藝專用冷卻方案

半導體冷水機丨刻蝕/鍍膜工藝專用冷卻方案


在半導體制造工藝中,等離子刻蝕冷卻Chiller作為關鍵溫控設備,通過制冷技術和智能控制系統(tǒng),為工藝穩(wěn)定性提供保障。

一、等離子刻蝕工藝的溫控挑戰(zhàn)

等離子刻蝕過程中,反應腔室內的高頻電場將氣體電離為等離子體,這些高能粒子轟擊硅片表面完成刻蝕。然而,等離子體釋放的巨大熱量會使腔室溫度急劇上升。若溫度失控,可能引發(fā)以下問題。

1、刻蝕速率波動:溫度變化影響化學反應速率,導致刻蝕深淺不一致;

2、材料熱應力損傷:局部過熱可能使硅片或掩膜層產生裂紋;

3、副產物沉積:高溫加速反應副產物在腔室壁的附著,降低工藝穩(wěn)定性。

因此,等離子刻蝕冷卻Chiller需在短時間內將腔室溫度控制在很小的精度內,同時適應-100℃150℃的寬溫域需求。

二、Chiller的核心工作原理

等離子刻蝕冷卻Chiller通過閉環(huán)制冷系統(tǒng)實現(xiàn)溫控,其核心流程包括,

1、制冷劑循環(huán)

壓縮機將氣態(tài)制冷劑壓縮為高溫高壓氣體;氣體經風冷或水冷式冷凝器液化,釋放熱量;電子膨脹閥調節(jié)液態(tài)制冷劑壓力,使其低溫蒸發(fā);制冷劑在蒸發(fā)器中吸收反應腔室的熱量,完成降溫。

2、全密閉循環(huán)設計

系統(tǒng)采用不銹鋼SUS304管路和E密封材料,杜絕水分和雜質侵入,確保導熱介質純凈度。

3、雙變頻技術

循環(huán)泵和壓縮機均采用變頻調節(jié),根據實時負載自動調整功率,在保證制冷效率。

三、技術特點與創(chuàng)新優(yōu)勢

1、精度控溫

采用PID算法和PLC控制器,實現(xiàn)控溫精度;支持多段溫度曲線編程,適應刻蝕工藝的復雜溫控需求(如快速升降溫)。

2、寬溫域與制冷

低溫復疊制冷系列支持寬溫域,滿足深紫外刻蝕的低溫需求;直冷型Chiller通過制冷劑直接蒸發(fā)換熱,效率較傳統(tǒng)液冷提升30%以上。

等離子刻蝕冷卻Chiller憑借其溫控、制冷和可靠的特性,已成為半導體制造鏈條中配套使用的設備。隨著芯片工藝對溫控精度的要求越來越高,等離子刻蝕冷卻Chiller也將持繼續(xù)前進。


半導體冷水機丨刻蝕/鍍膜工藝專用冷卻方案






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