光刻機(jī)配套純水冷水機(jī)丨精密檢測實(shí)驗(yàn)室機(jī)型

光刻機(jī)配套純水冷水機(jī)丨精密檢測實(shí)驗(yàn)室機(jī)型

在半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)的應(yīng)用范疇內(nèi)，半導(dǎo)體溫控裝置Chiller起著關(guān)鍵作用的設(shè)備。其在保障半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行方面配套使用。

半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于光通信、激光加工、光學(xué)成像等多個(gè)領(lǐng)域。由于半導(dǎo)體元件固有的物理特性，其對(duì)工作環(huán)境溫度要求高。細(xì)微的溫度波動(dòng)，都有可能引發(fā)半導(dǎo)體光學(xué)性能變化。以光通信系統(tǒng)中的激光器為例，溫度的改變會(huì)導(dǎo)致其輸出波長發(fā)生漂移，從而干擾信號(hào)傳輸?shù)臏?zhǔn)確與穩(wěn)定；在激光加工領(lǐng)域，溫度的不穩(wěn)定會(huì)造成激光輸出不一致，進(jìn)而影響加工的精度和效率。

從技術(shù)原理角度分析，半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)冷卻Chiller主要基于制冷循環(huán)原理實(shí)現(xiàn)溫度控制。壓縮機(jī)首先將制冷劑壓縮成高溫高壓的氣態(tài)，隨后通過冷凝器釋放熱量，使制冷劑轉(zhuǎn)化為高壓液態(tài)。高壓液態(tài)制冷劑經(jīng)節(jié)流裝置降壓降溫后，進(jìn)入蒸發(fā)器。在蒸發(fā)器內(nèi)，制冷劑吸收周圍熱量并汽化為氣態(tài)，之后被壓縮機(jī)重新吸回，如此循環(huán)往復(fù)，實(shí)現(xiàn)持續(xù)制冷。此外，部分 Chiller 還具備利用壓縮機(jī)熱氣進(jìn)行加熱的功能，無需額外加熱器，同時(shí)保證了系統(tǒng)的正常運(yùn)行。

半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)冷卻Chiller的循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)，并配備磁力驅(qū)動(dòng)泵，這種設(shè)計(jì)可以規(guī)避了液體泄漏與污染的風(fēng)險(xiǎn)，提高了系統(tǒng)的與可靠。并且，其具備高精度的溫度控制能力，能夠充分滿足半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)對(duì)溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)格要求。

不同型號(hào)的半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)冷卻Chiller具有不同的性能參數(shù)，適用于多樣化的應(yīng)用場景。例如，低溫復(fù)疊制冷系列的 Chiller 能夠?qū)崿F(xiàn)低至 -100℃ 的超低溫制冷，適用于對(duì)溫度要求苛刻的半導(dǎo)體光學(xué)實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)環(huán)節(jié)；而無壓縮機(jī)的換熱型 Chiller，則適用于對(duì)振動(dòng)要求較高的光學(xué)系統(tǒng)。

隨著半導(dǎo)體光學(xué)技術(shù)的持續(xù)發(fā)展，對(duì)于半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)冷卻Chiller的性能和功能也提出了更高的標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體光學(xué)系統(tǒng)冷卻Chiller憑借其溫控能力、制冷性能和可靠的保障，已成為光學(xué)系統(tǒng)中配套使用的設(shè)備。