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半導(dǎo)體用高精度冷水機丨助力芯片良率提升

簡要描述:【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設(shè)備廠家,公司主要生產(chǎn)高低溫沖擊氣流儀(熱流儀)、chiller、超低溫制冷機、高低溫測試機機、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片、航空航天、天文探測、電池包氫能源等領(lǐng)域的可靠性測試提供整套溫度環(huán)境解決方案。半導(dǎo)體用高精度冷水機丨助力芯片良率提升

  • 產(chǎn)品型號:ETCU-200W
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-03-20
  • 訪  問  量:228
詳情介紹
品牌冠亞恒溫冷卻方式水冷式
價格區(qū)間10萬-50萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣

半導(dǎo)體用高精度冷水機丨助力芯片良率提升

半導(dǎo)體用高精度冷水機丨助力芯片良率提升


在半導(dǎo)體制造的復(fù)雜流程中,刻蝕工藝是通過使用化學(xué)或物理方法,有選擇性地去除晶圓表面的材料,以形成電路圖案。而在這一工藝過程中,刻蝕工藝冷卻chiller保障刻蝕工藝的順利進行。

刻蝕工藝對環(huán)境溫度有著高要求。溫度的波動會影響刻蝕速率和刻蝕的均勻性。如果溫度過高,刻蝕劑的化學(xué)反應(yīng)增強,可能導(dǎo)致刻蝕速率過快,難以控制刻蝕和圖案的精度;反之,溫度過低則會使刻蝕速率變慢,可能造成刻蝕不的情況。此外,溫度不均勻還會導(dǎo)致晶圓不同區(qū)域的刻蝕程度不一致。

刻蝕工藝冷卻chiller是如何滿足刻蝕工藝對溫度的嚴苛要求呢?其核心技術(shù)在于溫度調(diào)節(jié)和穩(wěn)定的控溫能力。刻蝕工藝冷卻chiller的制冷循環(huán)系統(tǒng)是實現(xiàn)溫度控制的基礎(chǔ)。壓縮機將制冷劑壓縮升溫,高溫高壓的制冷劑氣體進入冷凝器,在這里釋放熱量并冷凝成液體。隨后,液態(tài)制冷劑經(jīng)過節(jié)流裝置降壓降溫,進入蒸發(fā)器。在蒸發(fā)器中,制冷劑吸收周圍熱量,實現(xiàn)制冷效果,從而降低刻蝕設(shè)備及周邊環(huán)境的溫度。

刻蝕工藝冷卻chiller的循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計,并配備磁力驅(qū)動泵,這種設(shè)計避免了冷卻液的泄漏和外界雜質(zhì)的混入,確保了系統(tǒng)的穩(wěn)定和可靠。同時,其控制系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的溫度控制,可以為刻蝕工藝提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境。

不同類型的刻蝕工藝冷卻chiller適用于不同的刻蝕工藝場景。比如氣體降溫控溫系列的 Chiller,適用于對通入刻蝕設(shè)備的氣體進行降溫處理,確保氣體在合適的溫度下參與刻蝕反應(yīng);直冷型 Chiller 則可以將制冷劑直接輸出到目標控制元件進行換熱,在一些對換熱效率要求高的刻蝕工藝中發(fā)揮作用;而快速溫變控溫卡盤能夠?qū)崿F(xiàn)快速的溫度變化和控制,滿足某些特殊刻蝕工藝對溫度動態(tài)響應(yīng)的需求。

在實際的半導(dǎo)體制造工廠中,刻蝕工藝冷卻chiller與刻蝕設(shè)備緊密配合,成為保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷向發(fā)展,刻蝕工藝冷卻chiller將不斷提升控溫精度、響應(yīng)速度,繼續(xù)為刻蝕工藝以及整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供堅實的支持。


半導(dǎo)體用高精度冷水機丨助力芯片良率提升




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